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Semiconductor

Semiconductor

半導体製造におけるレーザー加工の精度は、最終的な歩留まりに直結します。次世代パッケージングに向けたLUM-Bによるレーザーはんだ付け(Laser Soldering)から、大面積加工に適したLUM-B-Lによるウェーハアニール(Wafer Annealing)まで、正確なエネルギー分布の制御が欠かせません。また、LUM-Fを用いたウェーハグルービング・ダイシング(Wafer Grooving & Dicing)やTGV加工、LUM-Zによる高精度ステルスダイシング(Stealth Dicing)とTGVソリューションを通じて、基板の損傷を防ぎ、高い加工再現性を実現します。

Laser Soldering

Validating the raw laser mode and output stability prior to fiber coupling for high-precision soldering.

Semiconductor laser solderingLaser soldering beam measurement

Wafer Annealing

Eliminates hot spots and cold spots, reducing thermal defects on the wafer and ensuring uniform chip quality.

Wafer annealing processWafer annealing beam analysis

TGV

Tuning focal precision for localized glass modification to create flawless micro-vias in next-generation substrates.

TGV processTGV beam profile
Solar Cell

Solar Cell

太陽電池の効率を最大限に高めるには、製造工程に高い精度が求められます。エッジアイソレーション(Edge Isolation)やスクライビング(Scribing)などのレーザー加工で、熱影響部(HAZ)や微細な亀裂を抑えるには、安定したビーム品質が不可欠です。当社のビームモニタリングシステムは光源の最適化を支え、太陽電池の光電変換効率と製品寿命の向上に貢献します。

Medical & Bio

Medical & Bio

医療・バイオ分野では、光学システムの信頼性が患者の安全に直結します。美容医療用レーザー、精密外科機器、高解像度のバイオイメージングシステムには、設計どおりの出力仕様を正確に満たすことが求められます。当社のソリューションは、精密なビーム診断によってエネルギー分布の対称性をリアルタイムで検証し、医療機器の安全性と品質保証(QA)を支えます。

Automotive (Second Battery, LiDAR)

Automotive (Second Battery, LiDAR)

電気自動車と自動運転への移行を支えるのは、高度な光学技術です。二次電池の火災防止につながる精密なレーザー溶接から、自動運転の要となるLiDARセンサーのビーム拡散パターンと安全性の検証まで、徹底した品質管理が求められます。高出力対応のLUM-B-LはVCSEL検査に適しており、車載部品の品質とセンサーの信頼性を確保するためのレーザー診断ソリューションを提供します。

VCSEL for Lidar

Evaluating the radiation pattern and overall beam quality of diffused light sources for 3D sensing and autonomous driving.

VCSEL beam patternVCSEL inspection setup
OLED Display

OLED Display

フレキシブルディスプレイや超薄型ディスプレイには、高度なレーザー微細加工技術が求められます。当社は、LUM-B-Lを用いたフレキシブルパネルの剥離(Laser Lift-Off)やMicro LED加工、LUM-Fを用いたUTG切断や微細穴あけ(Laser Hole Drilling)など、主要工程に適したビームプロファイリングを提供します。さらに、LUM-Bによる高速ビーム分割(High-Speed Beam Splitting)とはんだ付け、LUM-Zによるマルチスポット(Multi Spot)解析を通じて、エネルギー均一性の精密な制御と量産歩留まりの向上を支えます。

High-Speed Beam Splitting

Verifying the symmetry and quality of the raw laser beam before splitting for simultaneous high-speed glass cutting.

High-speed beam splitting processHigh-speed beam splitting beam result

Laser Hole Drilling

A high-precision, non-contact laser machining solution utilizing focused beams to create highly accurate micro-holes across various materials.

Laser hole drilling processLaser hole drilling result

Laser Lift-Off

An efficient DPSS laser system that reliably separates flexible display panels from carrier glass while minimizing maintenance costs.

Laser lift-off processLaser lift-off beam result
AOI

AOI

自動光学検査(AOI)の精度は、照明と光源の品質に大きく左右されます。光の分布が不均一だと、微細な不良の見逃しや誤検出につながります。LUM-Bは、レーザー光源の品質保証と研究開発(Laser Source QA & R&D)に加え、初期レーザーアライメント(Initial Laser Alignment)でも優れた性能を発揮します。精密な光学測定によってAOI装置の照明均一性を補正し、微細な欠陥を安定して検出できる検査環境を支えます。

Laser Source QA & R&D

Assessing the fundamental beam specifications and energy distribution of laser oscillators for R&D and quality assurance.

Laser source QA and R&D setupLaser source QA beam analysis

Initial Laser Alignment

Establishing the absolute reference axis and straightness of the raw beam for accurate optical system setup.

Initial laser alignment setupInitial laser alignment beam result