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Semiconductor

Semiconductor

半導体製造におけるレーザー加工の精度は、最終的な歩留まりに直結します。次世代パッケージングにおけるレーザーはんだ付け(Laser Soldering)から、大面積加工を必要とするウェーハアニール(Wafer Annealing)まで、安定したレーザー加工には正確なビームプロファイルの測定・管理が欠かせません。また、ウェーハグルービング・ダイシング(Wafer Grooving & Dicing)やTGV加工、ステルスダイシング(Stealth Dicing)などの工程において、LUMOSはレーザービームを高精度に測定し、安定した加工品質と高い再現性をサポートします。

レーザーはんだ付け

高精度なレーザーはんだ付けを実現するため、ファイバー結合(Fiber Coupling)前のレーザービームプロファイルおよび出力安定性を評価します。

Semiconductor laser solderingLaser soldering beam measurement

ウェーハアニール

ビームプロファイルを測定し、ホットスポット(Hot Spot)やコールドスポット(Cold Spot)の発生を確認することで、ウェーハ全面における均一なレーザー照射の実現をサポートします。

Wafer annealing processWafer annealing beam analysis

TGV

TGV加工における高品質なマイクロビア(Micro-via)形成に向け、レーザービームの集光状態を高精度に評価します。

TGV processTGV beam profile
Solar Cell

Solar Cell

太陽電池の効率を最大限に高めるには、製造工程に高い精度が求められます。エッジアイソレーション(Edge Isolation)やスクライビング(Scribing)などのレーザー加工で、熱影響部(HAZ)や微細な亀裂を抑えるには、安定したビーム品質が不可欠です。当社のビームモニタリングシステムは、レーザービームの安定性を可視化・評価することで、加工条件の最適化と安定した製造プロセスをサポートします。

Medical & Bio

Medical & Bio

医療・バイオ分野では、光学システムの信頼性が患者の安全に直結します。美容医療用レーザー、精密外科機器、高解像度バイオイメージングシステムでは、レーザー出力やビーム品質を正確に管理することが求められます。当社のソリューションは、レーザービームのエネルギー分布や対称性を高精度に測定・評価し、医療機器の品質管理(QA)をサポートします。

Automotive (Second Battery, LiDAR)

Automotive (Second Battery, LiDAR)

電気自動車や自動運転技術の進化を支えるうえで、高度なレーザー・光学技術は重要な役割を担っています。二次電池の火災予防につながる精密なレーザー溶接から、自動運転に用いられるLiDARセンサーのビームパターン評価まで、高精度なレーザー計測と品質管理が求められます。高出力測定が可能なLUM-B-Lは、VCSEL検査に最適化されており、高品質な車載電子部品の生産と信頼性の確保に貢献する、重要なレーザー診断ソリューションを提供します。

LiDAR用VCSEL

3Dセンシングや自動運転に用いられる拡散光源(Diffused Light Source)の放射パターンとビーム全体の品質を評価します。

VCSEL beam patternVCSEL inspection setup
OLED Display

OLED Display

フレキシブルディスプレイや超薄型ディスプレイには、高度なレーザー微細加工技術が求められます。フレキシブルパネルのレーザーリフトオフ(Laser Lift-Off)やMicro LED加工ではLUM-B-L、UTG切断や微細穴あけ(Laser Hole Drilling)ではLUM-Fを活用し、各工程におけるレーザービームの測定・評価をサポートします。さらに、LUM-Bによる高速ビーム分割(High-Speed Beam Splitting)の評価や、LUM-Zによるマルチスポット(Multi-Spot)解析を通じて、ビームのエネルギー分布や均一性を高精度に評価し、安定した量産プロセスをサポートします。

高速ビーム分割

ガラスの高速同時切断において、ビーム分割前のレーザービームプロファイルと出力安定性を高精度に測定・評価します。

High-speed beam splitting processHigh-speed beam splitting beam result

レーザー穴あけ

レーザー穴あけ加工における集光ビーム(Focused Beam)のスポット形状やエネルギー分布を高精度に測定・評価し、安定した微細加工をサポートします。

Laser hole drilling processLaser hole drilling result

レーザーリフトオフ

レーザーリフトオフ(LLO)工程で使用されるDPSSレーザーのビームプロファイルやエネルギー分布を高精度に測定・評価し、安定した加工プロセスをサポートします。

Laser lift-off processLaser lift-off beam result
AOI

AOI

自動光学検査(AOI)の精度は、照明や光源の安定性に大きく左右されます。光の分布が不均一になると、微細な欠陥の見逃しや誤検出につながる可能性があります。LUM-Bは、レーザー光源の品質評価や研究開発(Laser Source QA & R&D)、初期レーザーアライメント(Initial Laser Alignment)などにおけるビームプロファイルの測定・評価に対応し、安定した光学検査環境の構築をサポートします。

レーザー光源の品質保証・研究開発

レーザー光源の研究開発(R&D)や品質保証(QA)において、レーザー発振器(Oscillator)のビームプロファイルやエネルギー分布、出力安定性を高精度に測定・評価します。

Laser source QA and R&D setupLaser source QA beam analysis

初期レーザーアライメント

光学システムのセットアップ時に、レーザービームの位置や方向、ビームプロファイルを測定・評価し、正確な光軸調整をサポートします。

Initial laser alignment setupInitial laser alignment beam result