应用领域

半导体

半导体

在半导体制造工艺中,激光加工的精度直接关系到最终良率。从面向下一代封装的 LUM-B Laser Soldering(激光焊接),到针对大面积工艺优化的 LUM-B-L Wafer Annealing(晶圆退火),精准控制能量分布至关重要。此外,通过 LUM-F Wafer Grooving & Dicing(晶圆开槽与切割)及TGV工艺,以及 LUM-Z 的超高精度 Stealth Dicing(隐形切割)和TGV解决方案,可有效避免基板损伤,并确保最高水平的工艺重复性。

激光焊接

在进行高精度焊接的光纤耦合(Fiber coupling)前,验证原始激光光束模式及输出稳定性。

Semiconductor laser solderingLaser soldering beam measurement

晶圆退火

通过消除热点(Hot spot)和冷点(Cold spot),最大限度减少晶圆的热缺陷,并确保芯片质量的一致性。

Wafer annealing processWafer annealing beam analysis

TGV

精细调节焦点精度,实现高度局部化的玻璃改性(Modification),以在下一代基板上形成无缺陷的微孔(Micro-via)。

TGV processTGV beam profile
太阳能电池

太阳能电池

太阳能电池制造需要精密且稳定的工艺,以提高转换效率。在边缘隔离(Edge Isolation)、划线(Scribing)等激光加工过程中,稳定的光束质量有助于减少热影响区(HAZ)和微裂纹。我们的先进光束监测系统可帮助优化激光光源,提升太阳能电池的光电转换效率和产品寿命。

医疗与生物

医疗与生物

在医疗与生物技术领域,光学系统的可靠性直接关系到患者安全。皮肤美容激光设备、精密外科设备及高分辨率生物成像系统,均须准确满足设计规定的输出指标。我们的解决方案通过精密光束诊断,实时验证能量分布的对称性,为医疗设备建立安全、完善的质量保证(QA)体系提供支持。

汽车(二次电池、激光雷达)

汽车(二次电池、激光雷达)

向电动汽车与自动驾驶时代的转型,离不开先进光学技术的支持。从预防二次电池起火的精密激光焊接,到自动驾驶核心部件激光雷达(LiDAR)传感器的光束发散分布与安全性验证,均需完善的质量管理。尤其是高功率 LUM-B-L 型号,专为 VCSEL 检测优化,为无缺陷汽车电子部件生产及传感器可靠性保障提供关键激光诊断方案。

激光雷达用

评估用于 3D 传感与自动驾驶的漫射光源(Diffused Light Source)的辐射分布及整体光束质量。

VCSEL beam patternVCSEL inspection setup
OLED 显示屏

OLED 显示屏

柔性与超薄显示屏对激光微加工技术提出了极高要求。我们提供针对关键工艺优化的光束分析方案,包括采用 LUM-B-L 的柔性面板激光剥离(Laser Lift-Off)与 Micro LED 工艺,以及采用 LUM-F 的超薄玻璃(UTG)切割与超微孔激光钻孔(Laser Hole Drilling)。此外,通过 LUM-B 的高速分束(High-Speed Beam Splitting)与焊锡,以及 LUM-Z 的多光斑(Multi Spot)分析,实现精细的能量均匀性控制,助力高速量产获得卓越良率。

高速分束

在用于高速同步玻璃切割的分束前,精确验证原始激光束的对称性与质量。

High-speed beam splitting processHigh-speed beam splitting beam result

激光钻孔

利用聚焦光束(Focused Beam),在多种材料上加工超精密微孔的非接触式高精度激光加工方案。

Laser hole drilling processLaser hole drilling result

激光剥离

高效 DPSS 激光系统,可在最大限度降低维护成本的同时,将柔性显示面板从载板玻璃(Carrier Glass)上稳定剥离。

Laser lift-off processLaser lift-off beam result
AOI

AOI

自动光学检测(AOI)系统的精度,在很大程度上取决于视觉检测所用照明与光源的质量。不均匀的光分布可能导致微小缺陷漏检或误检。LUM-B 型号不仅在激光源质量保证与研发(Laser Source QA & R&D)中表现出色,在初始激光对准(Initial Laser Alignment)过程中同样具备卓越性能。通过先进光学测量技术,精确校准 AOI 设备的照明均匀性,确保稳定检出微米级缺陷,实现高度可靠的检测。

激光源质量保证与研发

面向研发(R&D)与质量保证(QA),评估激光振荡器(Oscillator)的关键光束参数及能量分布。

Laser source QA and R&D setupLaser source QA beam analysis

初始激光对准

确立原始光束(Raw Beam)的绝对基准轴与直线度(Straightness),以确保光学系统的精确搭建。

Initial laser alignment setupInitial laser alignment beam result