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IFI
IFIInfinity Flat Top 成像光学系统
主要特点
1. 稳定的测量
2. 重复精度
3. 适配工艺的配置
IFI
IFI 是专为满足不同工艺条件下光学检测需求而设计的 LUMOS 产品系列。
应用领域
- 精密检测产线
- 半导体工艺
- 光学测量系统
| 构成 | 模块化系统 |
|---|---|
| 运行 | 按工艺条件适配 |
备注
[1] 可按所需规格定制。
[2] 支持最大 1.2 mm 的纤芯尺寸，成像尺寸随纤芯尺寸按比例增大。
[3] 不同距离下的投射光束尺寸可能因系统配置而异，可实现的最大尺寸实际上不受限制。