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LUM-F Data SheetLUM-F Data sheet.pdf
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LUM-F
LUM-F高精度微米光束的轮廓分析与测量
主要特点
1. 稳定的测量
2. 重复精度
3. 适配工艺的配置
LUM-F
LUM-F 是专为满足不同工艺条件下光学检测需求而设计的 LUMOS 产品系列。
应用领域
- 精密检测产线
- 半导体工艺
- 光学测量系统
| 产品规格 | LUM-F-DUV | LUM-F-UV | LUM-F-VIS | LUM-F-NIR |
|---|---|---|---|---|
| 波长 [nm] | 240 - 355 | 343 - 355 | 485 - 570 | 980 - 1064 |
| 分辨率 [Pixels] | 2848 X 2848 [8.1 MP] | 2856 X 2848 [8.1 MP] | ||
| 像元尺寸 [µm] | 2.74 X 2.74 | |||
| 传感器尺寸 [mm] | 7.8 X 7.8 | |||
| 倍率 | X20 | X10 | X05 | |
| 最小可测光斑尺寸 | Ø 3 µm | Ø 6 µm | Ø 14 µm | |
| 传感器类型 [快门方式] | CMOS [Global Shutter] | |||
| 电气规格 | 10–28 V / Gigabit Ethernet / POE | |||