LUM-Z

LUM-Z3D光束轮廓仪
主要特点
1. 稳定的测量
2. 重复精度
3. 适配工艺的配置
LUM-Z detail hero image

LUM-Z

LUM-Z 是专为满足不同工艺条件下光学检测需求而设计的 LUMOS 产品系列。

应用领域

  • 精密检测产线
  • 半导体工艺
  • 光学测量系统
构成模块化系统
运行按工艺条件适配