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LUM-Z
LUM-Z
3D光束轮廓仪
主要特点
1. 稳定的测量
2. 重复精度
3. 适配工艺的配置
LUM-Z
LUM-Z 是专为满足不同工艺条件下光学检测需求而设计的 LUMOS 产品系列。
应用领域
精密检测产线
半导体工艺
光学测量系统
构成
模块化系统
运行
按工艺条件适配