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LUM-B-L 数据手册LUM-B-L Data Sheet.pdf
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LUM-B-L
LUM-B-L大面积激光光束的轮廓分析与测量
主要特点
1. 稳定的测量
2. 重复精度
3. 适配工艺的配置
LUM-B-L
LUM-B-L 是专为满足不同工艺条件下光学检测需求而设计的 LUMOS 产品系列。
应用领域
- 精密检测产线
- 半导体工艺
- 光学测量系统
| 产品规格 | LUM-B-L-UV | LUM-B-L |
|---|---|---|
| 波长1 [nm] | 343 - 1064 | 400 - 1064 |
| 分辨率 [Pixels] | 8424 X 6032 [51 MP] | |
| 像元尺寸 [µm] | 4.6 X 4.6 | |
| 传感器尺寸 [mm] | 38.75 X 27.75 | |
| 最小可测光斑尺寸2 | Ø 92 µm | |
| 传感器类型 [快门方式] | CMOS [Global Shutter] | |
| 电气规格 | 10–28 V / Gigabit Ethernet | |
备注
(1) 测量波长须在订购前确认。
(2) 为防止镜片损伤，建议功率低于 1 W。激光损伤阈值（LIDT）规格可按需提供。
(3) 测量值以 ISO-1146 为依据，最小可测尺寸为 20 像素。
外形结构变更须在订购前确认是否可行。