資料室

タイトル

[特許証] 第10-2243189号真空ビームプロファイリング装置

作成者LUMOS

登録日時2026/4/9

内容

This patent document covers beam characteristic measurement and profile analysis in a vacuum environment.

添付ファイル

patent-10-2243189-vacuum-beam-profiling-device.pdfダウンロード