자료실

제목

[특허증] 10-2243189호 진공빔프로파일링장치

작성자LUMOS
작성일시2026. 4. 9.
내용
[특허증] 10-2243189호 진공빔프로파일링장치

진공 환경에서의 빔 특성 측정과 프로파일 분석을 위한 특허 문서입니다.

첨부파일
patent-10-2243189-vacuum-beam-profiling-device.pdf다운로드